プラズマ洗浄装置というものをご存知でしょうか。
半導体など精密機器の品質を向上させる上で、ドライ洗浄を行うプラズマ洗浄装置が重要な役割を果たしています。
プラズマは固体と液体、気体に続く物質の第4の状態とも呼ばれています。
プラズマ洗浄装置にはアルゴン原子を使うRIEモードと、酸素分子を使うDPモードという2種類の処理方式が存在しま …
プラズマ洗浄装置はプラズマを発生させる過程で生じるイオンや原子を使い、半導体など精密機器の表面に付着した細かな …
プラズマ洗浄装置は半導体など精密機器の品質と生産性を大幅に高めることができます。
無機物の表面に付着した不純物を除去したり、表面を親水化させる目的でプラズマ洗浄装置やUVクリーナーなどが用いら …
プラズマ洗浄装置はドライ洗浄を行うため、ウェット洗浄と比べて工程数が少なく生産性を高めることができます。
プラズマクリーナーとは、「ガスプラズマを使った洗浄装置」の事であり、通常の清掃では対処しきれない汚れを落とすの …
プラズマクリーナーというのは、プラズマの作用を利用してプラズマ洗浄を行う機器のことです。
PAGE TOP