プラズマクリーナーは、表面処理に欠かすことができない装置といわれています。物質は、温度上昇が起きると個体は液体へと変化し、液体は気体に変化する性質を持ちます。気体に連続的なエネルギーを加えることで生じる状態のことをプラズマと呼びます。一般的に、物質は液体や固体、そして気体の3つになりますが、プラズマはこれらに次ぐ第4の状態ともいわれています。

プラズマクリーナーの原理は、プラズマの発生の仕組みを知ることでわかります。プラズマを発生させるためには、電極間に高電圧を印加して電場を発生させる必要があります。電場の発生により電気エネルギーは加速させ中性気体の分子に衝突して原子が生成されます。原子に電子が衝突すると正イオンおよび電子が作り出されるわけですが、これは電離と呼ばれる現象で電離により生じた荷電粒子を含んでいる気体のことをプラズマと呼びます。

電離は不対電子が生じて酸素ラジカルとなる、酸素ラジカルは共有電子対を持たないので非ラジカル種と反応するときには電子を奪い取り安定させようと働きがあるのが特徴です。新しく発生した酸素ラジカルは、次の標的となる分子から電子を奪い取るなど、このような反応が繰り返し行われます。なお、プラズマクリーナーは、プラズマによるエネルギーと酸素ラジカルなどで基板の洗浄や表面の改質を可能にする装置でもあり、半導体製造や電子機製造など幅広分野の中で使用されているといいます。