プラズマクリーナーとは、金属を溶解する技術(エッチング効果)を利用して、低圧環境で半導体などの表面をクリーニングするシステムのことです。有機物だけでなく、無機物も洗浄することができます。複数の会社から様々なタイプが発売されています。スマートフォンに搭載する半導体や電子部品は、小型化が必須です。

最近はウェアブル端末も開発されているので、電子部品の小型化に拍車がかかっているのが現状です。そのような小さい部品を洗浄するために、高度な技術をもったプラズマクリーナーが要求されています。特に基板表面の汚れを落とすには精密なプラズマクリーナーが欠かせません。人気のある製品についてみてみると小型のものが一番人気となっています。

小型の製品は平行平板型高周波を使用しています。枚葉式プラズマクリーナーとも呼ばれ、半導体素子製造の材料であるウエハを回転させながら薬液をスプレーして洗い流す方法を採用したもののことです。ウエハはシリコンのような素材で作られた円柱状の鉄もしくは金の塊を薄くスライスした円盤状の板のことです。バッチ式プラズマクリーナーも人気があります。

平行平板型のプラズマ処理装置であり、コントロールパネルの操作だけで2つのモードを切り替えて使うことができます。2つのリアクティブエッチングとダイレクトプラズマの両モードを使い分けることができるので大変便利です。また、搭載接着性改善に優れ、多様なプロセス処理に利用できるのが魅力です。