プラズマクリーナーという装置を知っている人は多くはありません。プラズマ装置とも言われており、半導体組立工程の用途として販売されています。私たちが日常生活で使用しているパソコンやスマートフォン、液晶テレビなどの電子材料やドライ洗浄ができる洗濯機にも取り込まれている装置になります。プラズマクリーナーは、電子デバイスの製造工程の中で組成されるフォトレジストを分解・除去し、そのプラズマ技術で環境に良い役割を果たしています。

医療処置具や電子レンズ、粉体洗浄など表面改質技術で、印刷の技術やコーティングする際の密着性が改善されるメリットがあります。プラズマクリーナーを取り入れることで、高品質な製品を作ることができ、生産性を大幅に向上させることが可能になります。企業やメーカーによって、減圧低温から自動処理機、大気圧のプラズマクリーナーなどさまざまな種類があります。その原理としては、2つのプラズマモードが存在し、電子とイオンの法則を利用して無機物や有機物を弾き飛ばすクリーニングの処理方法と、酵素分子を高周波電力で電離させ有機物との化学反応で二酸化炭素や水分子に変化したものをポンプで排気させるという処理方法です。

また、処理効果を確認する方法として接触角計と膜厚計を使用して確認をすることができます。プラズマは反応性が非常に高い特性があり、殺菌や消毒などにも用いられています。幅広いジャンルの産業で活用されているプラズマクリーナーは今後も重要視され続ける装置です。