プラズマクリーナーというのは、プラズマの作用を利用してプラズマ洗浄を行う機器のことです。製造メーカー各社から色々なタイプの製品が発売されています。例えば「RPLU-100Aシリーズ」は、大気圧下で使用可能な大気圧プラズマクリーナーです。表面の微細な汚れを除去するという高品質な処理が、導入コストを抑えながらも可能なところが評価されています。

ドライ環境で表面処理ができ、ウェット洗浄は不要で、ワーク表面に親水性官能基を形成します。使用によって接着と接合性がアップし、強度の向上に有効性が高いのも特徴です。卓上型のプラズマクリーナーもあり、業界最小サイズと言われるものは小型なうえに低コストを実現しています。外形寸法が250×200×200mmなので確かに小さく、ラボや研究機関向けにコンパクトに設計されたものです。

簡単な操作性と可変RF出力の搭載が特徴です。用途は光学材料のクリーニングをはじめ、プラスチックや金属やセラミックに使用され、歯科器具の滅菌にも活用されています。他にはマイクロ流体工学などにも対応しており、幅広くクリーニングと表面処理に役立っている機器です。プラズマクリーナーの中には、ガスプラズマのエッチング効果を利用したタイプもあります。

用途に合ったガスを酸素・アルゴン・水素とアルゴン等から選択し、低圧環境下でクリーニングできるものです。有機質も無機質も両方の汚染を除去できること、濡れ性改善などもメリットに挙げられます。