無機物の表面に付着した不純物を除去したり、表面を親水化させる目的でプラズマ洗浄装置やUVクリーナーなどが用いられています。両者はいずれもドライ環境下で物質の表面に付着した有機物を酸化して除去するという点ではよく似ているように見えますが、大きな違いがあります。UVクリーナーは紫外線で発生させたオゾンを用いて不純物を酸化させて除去するもので、無機物を取り除くことはできません。これは付着した有機物のみを除去するためのもので、処理を行う物体の表面の状態を変化させることはありません。

プラズマ洗浄装置はプラズマ(電離)ガスを物質の表面に照射することで、不純物を除去します。非常に反応性の高い電離ガスを使用するので、有機物に加えて無機物も除去することが可能です。そのため、化学的に安定したガラスやシリコン基板などの無機質の表面も酸化させて削り取ることができるほどです。処理後の表面の化学的・物理的な性質が変化しており、このような処理はUVクリーナーでは不可能です。

このように、プラズマ洗浄装置は有機物のみならず無機物を酸化させるという点で、UVクリーナーとは大きく異なります。プラズマ洗浄装置はUVクリーナーと同じように簡単な操作でガラスやシリコンの表面を化学的に変化させて親水化させることが可能で、強酸や強アルカリなどの有害な薬品を一切必要としないというメリットがあります。化学薬品や洗浄液などを使用しないので、廃液を処理するコストや手間を省くことができます。