半導体や電子デバイス、レンズや医療機器など精密機器を製造する過程では有機物や無機物で構成される様々な異物が発生します。精密機器の品質を高めるためには何らかの方法で異物を取り除く必要がありますが、作業効率についても考慮しなければなりません。細かな異物を取り除いて高品質な製品を製造したとしても、作業効率が悪いと完成までに時間がかかってしまいます。品質だけでなく生産性も同時に向上させる方法で精密機器の洗浄を行うのが理想的です。

精密機器の表面に付着した異物を取り除く方法には、ウェット洗浄とドライ洗浄の2種類があります。前者は過酸化水素水と純水の他に、アンモニアや塩酸などを使って異物を取り除きます。比較的簡単に異物を取り除くことができますが、薬液を洗い流して乾燥させなければなりません。精密機器は完成までに何度も洗浄を行わなければならないので、ウェット洗浄だと完成までに時間がかかってしまいます。

プラズマ装置はドライ洗浄を行うため、薬液を洗い流す必要がなく1回あたりの作業時間が短くなります。品質と生産性の両方を同時に向上させることができるため、精密機器の製造現場では広くプラズマ装置が使われています。この装置にはRIEモードとDPモードという2種類の処理方式が存在します。前者は有機物と無機物に対応しており後者は有機物のみ対応可能です。

状況に応じて2種類のプラズマ装置を使い分ければ、細かな異物を効率的に取り除くことができます。プラズマ装置のことならこちら