プラズマ洗浄装置はアルゴンイオンや酸素原子を使い、精密機器の表面に付着した汚れをドライ洗浄します。ドライ洗浄とは薬液を使わない方法で、ウェット洗浄と比べて工程数が少ないため効率的です。ウェット洗浄は過酸化水素水と純水の他にアンモニアや塩酸を使うため、後から洗い流して乾燥させなければなりません。浸漬式と枚葉式という2種類の方法があり、前者は洗浄槽を洗浄液で満たして対象物を浸します。

大量の洗浄液を使い時間がかかりますが、静電気が発生せず細かな部分も洗浄できるというメリットがあります。後者は対象物を水平に置いて回転させスプレー状の洗浄液を吹きかけます。この方法少ない洗浄液を使って短時間で作業が完了し再汚染が起きにくいのがメリットですが、洗浄液がかかりにくい部分が生じます。ウェット洗浄でも細かな汚れを取り除くことができるものの、ドライ洗浄と比べて時間がかかってしまいます。

プラズマ洗浄装置を使えば短時間で作業が完了するので、より効率的に精密機器を製造できます。この装置にはRIEモードとDPモードという2種類の処理方式が存在します。前者はアルゴンイオンを有機物と無機物に衝突させて弾き飛ばし、後者は酸素原子が有機物を化学反応で水分子と二酸化炭素に変えます。RIEモードは有機物と無機物を物理的に取り除き、DPモードは有機物を化学反応によって除去します。

汚れの種類に応じて最適なタイプのプラズマ洗浄装置を使えば、ウェット洗浄よりも効率的に高品質な精密機器を製造できます。