プラズマは固体や気体、液体に続く物質の第4の状態と呼ばれており自然界には太陽や稲妻などがあります。人工的に発生させたプラズマは蛍光灯などの照明器具や、精密機器の洗浄などに使われています。半導体や電子デバイス、レンズなどの精密機器は製造過程において様々な不純物が生じます。精密機器の品質を向上させるには、何度も洗浄作業を行って不純物を取り除かなければなりません。

プラズマ装置はドライ洗浄を行うので、薬液を使わずに素早く細かな不純物を取り除くことができます。精密機器を製造する企業は製品の品質だけでなく生産性も向上させる必要があります。アンモニアや塩酸などの薬液を使用すると、後から洗い流して乾燥させなければならないため手間がかかってしまいます。プラズマ装置を使えばドライ洗浄によって製品の品質と生産性を同時に向上させることが可能です。

この装置にはDPモードとRIEモードという2種類の処理方式があるので、状況に応じて使い分ける必要があります。DPモードのプラズマ装置では高周波電力によって酸素分子から酸素原子が離れます。精密機器の表面に付着した有機物が酸素原子と化学反応を起こし、水分子と二酸化炭素になります。このタイプのプラズマ装置では、化学反応によって水分子と二酸化炭素になった不純物が真空ポンプで排出されます。

RIEモードのプラズマ装置では高周波電力によってアルゴン原子が電離され、アルゴンイオンと電子になります。加速したアルゴンイオンを有機物や無機物に衝突させて物理的に弾き飛ばします。発生する不純物の種類に応じて2種類の処理方式を使い分けると、効率的に精密機器を洗浄できます。